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名称
纯度
氮气(气、液）N
2
Nitrogen
99.2～99.999%
氢H
2
Hydrogen
99～99.999%
氧气(气、液)O
2
Oxygen
99.999%
高纯氦He
Helium
99.999%
纯氦He
Helium
99.99%
二氧化碳CO
2
Carbon Dioxide
99.9%
乙炔C
2
H
2
Acetylene
98～99.99%
高纯氩(高、纯)Ar
2
Argon
99.99～99.999%
硅烷SiH
4
Silane
＞99.999%
环氧乙烷C
2
H
4
0
Ethylene oxide
99.9%
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